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반도체 및 디스플레이 제조장치의 공정 쳄버를 진공화시키거나,
공정 쳄버에서 발생한 기체 상태의 공정부산물을 외부로 배출시키기 위한
루츠로터와 스크루로터 복합건식진공펌프에 관한 특허를 취득
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