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플라즈마 식각장치 관련 특허권 취득으로 상승. 동사는 금일 공시를 통해 플라즈마 식각장치와 관련된 특허권을 취득했다고 밝혔음. 동사는 본 특허의 활용 계획에 대해 LCD Wet 패널 식각 공정에 적용할 예정이라고 설명하였음.
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