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삼성전자 강영석 삼성전자 펠로우가 삼성전자 극자외선(EUV) 공정 필수 소재로 꼽히는 펠리클의 현재 성능과 미래 기술에 대해 공개했다. 요지는 현재 90%의 투과율이고 96% 수준까지 올리겠다는 것이다. 문제는 우리나라 업체가 아니라 미쓰이화학 제품을 사용한다는 것.

삼성전자로부터 자본도 투자받고 관련 기술을 개발하던 에프에스티와 에스앤에스텍은 타격을 입을 수밖에 없게 되었다.

반도체 장비나 소재 관련하여 국산화에 집중하고 있는 업체들까지 파장이 미칠지 지켜봐야 한다.