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테스(095610), 특허취득(가스배기시스템 및 반도체 제...)

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평민

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조회 155 2010/08/24 14:39

게시글 내용

테스(095610)는 '가스배기시스템 및 반도체 제조장치 및 및 이를 이용한 박막제조방법'에 관한 특허를 취득했다고 공시했다. 취득일자는 08-20이다.
주가는 2일 연속 하락을 마감하고 금일 플러스로 전환되었다. 오후 2시35분 현재,전일보다 50원(+0.4%) 오른 12600원이다.

테스가 최근 1년간 취득했다고 공시한 특허는 아래와 같다.

공시일자 특허명칭 공시당시
등락율
금일공시 가스배기시스템 및 반도체 제조장치 및 및 이를 이용한 박막제조방법 +0.4%
금일공시 플라즈마 처리장치 +0.4%
10.08.17 웨이퍼 이송 로봇용 블레이드 -4.18%
10.07.12 플라즈마 처리장치 -1.01%
10.07.07 기판 리프트 어셈블리 +0.33%
10.07.01 기판 반송용 블레이드 및 이를 구비하는 기판 반송 장치 -2.63%
10.06.15 적층형 박막 태양전지 제조 장치 및 그 방법 +0.38%
10.05.31 반도체 제조용 서셉터유닛, 이 서셉터유닛이 구비된 반도체 제조장치 및 이 반도체 제조장치를 이용한 실리콘 산화막건식 식각 방법 +3.57%
10.04.13 플라즈마 처리장치 -0.4%
10.02.25 웨이퍼 이송로봇 및 웨이퍼 이송방법 -1.54%
10.01.19 플라즈마 발생용 전극 및 플라즈마 발생장치 -0.72%
09.11.02 쉐도우 링 및 이를 구비하는 기판 처리 장치 +3.9%


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