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특허권 취득(자율공시)
1. 특허명칭 | 웨이퍼 이송 로봇용 블레이드 |
2. 특허 주요내용 | 본 발명은 웨이퍼 이송 로봇용 블레이드에 관한 것으로, 웨이퍼의 이송 과정에서 발생되는 웨이퍼 손상을 최소화할 수 있으며 나아가 웨이퍼를 효과적으로 흡착할 수 있도록 구조가 개선되는 효과가 있다. |
3. 특허권자 | 주식회사 테스 |
4. 특허취득일자 | 2010-08-17 |
5. 특허 활용계획 | 1.반도체장비 제조시 특허기술 적용을 통한 경쟁력 강화 2.기술경쟁력 및 원가경쟁력 향상 3.반도체 및 태양전지 장비 개발에 활용 |
6. 확인일자 | 2010-08-17 |
7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | - |
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