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고려반도체, 광학계 변환장치 특허
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[이데일리 류의성기자] 고려반도체(089890)는 반도체 소자 레이저 쏘잉 장치의 광학계 변환장치에 대한 특허를 취득했다고 16일 공시했다.
회사 측은 "반도체 제조용 웨이퍼 레이저 쏘잉장치의 공정성능 및 품질향상 구현에 의한 공정신뢰성을 확보하고, 공정장비 진출분야 확대와 위치고수의 교두보를 마련할 것"이라고 설명했다.
회사 측은 "반도체 제조용 웨이퍼 레이저 쏘잉장치의 공정성능 및 품질향상 구현에 의한 공정신뢰성을 확보하고, 공정장비 진출분야 확대와 위치고수의 교두보를 마련할 것"이라고 설명했다.
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류의성 (esryu@)
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