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[머니투데이 강경래 기자][검사공정 소모성 부품 멤스카드... 하이닉스로부터 인증]

반도체 장비업체인 유니테스트는 반도체 검사공정에 쓰이는 소모성 부품인 프로브카드를 개발했다고 17일 밝혔다.

프로브카드는 반도체 전공정 마지막 단계에서 반도체 칩을 검사하는 주검사장비(메인테스터)에 들어가는 핵심 소모성 부품으로 연간 10억 달러 규모 시장이 형성돼 있다.

특히 반도체 공정이 마이크로미터(㎛, 1㎛는100만분의 1m)에서 나노미터(㎚, 1㎚는 10억분의 1m) 단위로 미세화 되는 추세에 따라 기존 1세대 니들(needle) 방식이 아닌 2세대 멤스(MEMS) 방식 프로브카드가 대세로 자리매김하고 있다.

유니테스트 측은 이번 프로브카드는 D램 메모리를 검사하는 멤스 방식 프로브카드로 300mm(12인치) 크기 원판(웨이퍼)을 다룬다고 설명했다. 이 제품은 최근 하이닉스반도체로부터 인증을 획득했다.

유니테스트는 연내 프로브카드 매출을 냄으로써 주검사장비 등 그동안 반도체 장비에 국한됐던 매출을 부품분야로 확대할 전망이다.

김종현 유니테스트 사장은 "이 제품은 2005년 프로브카드 업체를 인수한 후 3년만에 나온 첫 결과물"이라며 "낸드플래시 시장을 겨냥한 범용 주검사장비도 연내 출시하는 등 종합 반도체 검사공정 장비·부품 제조사로 거듭날 것"이라고 말했다.

한편 프로브카드는 국내에선 파이컴이, 해외에선 미국 폼팩터 등이 시장 경쟁을 벌이고 있다.

강경래기자 butter@

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