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유진테크, 웨이퍼 표면처리장치 특허 취득
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[머니투데이 정진우 기자]유진테크는 고주파 구동 유도 결합 플라즈마를 이용한 웨이퍼 표면처리장치에 관한 특허를 취득했다고 29일 공시했다.
유진테크는 이 기술을 자사 장비에 적용할 예정이다.
정진우기자 econphoo@
<저작권자 ⓒ '돈이 보이는 리얼타임 뉴스' 머니투데이>
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