thinkpool

[머니투데이 강경래 기자][포스텍에 건식 식각장비 공급키로... 반도체 양산라인 공급도 ‘가시화’]

LCD 장비제조사 디엠에스가 반도체 장비사업에서 첫 성과를 냈다.

디엠에스는 포스텍(포항공과대학교) 나노기술집적센터와 반도체 건식 식각장비 공급계약을 체결했다고 31일 밝혔다.

이 회사 고위 관계자는 “6월 중 포스텍 나노기술집적센터에 차세대 30나노공정급 건식 식각장비를 납품키로 했으며, 이번 계약 건으로 액정표시장치(LCD)와 플라스마 디스플레이 패널(PDP) 등 디스플레이 장비에 이어, 반도체 장비분야에서 첫 성과를 냈다”며 “국내 반도체 대기업들과도 이 장비에 대한 양산성 검증을 진행하고 있어, 연말부터 반도체 장비부문에서 매출이 본격화될 전망”이라고 말했다.

건식 식각장비는 반도체 원판(웨이퍼) 위에 회로패턴을 형성한 후 불필요한 부분을 플라스마를 이용해 깎아내는 기능을 하는 장비로, 대당 30억원이 넘어 노광장비 증착장비 등과 함께 반도체 전공정 핵심장비로 분류된다.

디엠에스는 그동안 주성엔지니어링 등과 함께 국내 대표 장비기업으로 군림해왔으나, LCD 등 디스플레이 장비에 국한된 매출이 취약점으로 지적돼왔다. 이와 관련 이 회사는 2004년부터 3년 동안 연간 1000억 원대 매출을 기록한 반면, 국내외 LCD 신증설 투자가 부진했던 지난해 883억원 매출에 그친 바 있다.

때문에 디엠에스가 이번 반도체 장비 첫 상용화를 계기로 디스플레이 장비에 이어 반도체 장비부문에서도 두각을 보일지 관심이 모아진다.

한편 디엠에스는 LG디스플레이(옛 LG필립스LCD)를 비롯해 AU옵트로닉스(AUO)와 치메이옵토일렉트로닉스(CMO) 등으로부터 대규모 장비 수주가 이어지면서 올해 사상 첫 2000억 원대 매출을 기록할 전망이다.

강경래기자 butter@

<저작권자 ⓒ '돈이 보이는 리얼타임 뉴스' 머니투데이>