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탑엔지니어링 자회사 탑나노시스 탄소나노튜브 응용제품개발(퍼온글입니다^^)

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평민

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조회 194 2007/12/20 07:02

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반도체·디스플레이 장비 업계 국책 사업 올인

2007/12/19  17:07:41  파이낸셜뉴스




반도체·디스플레이 장비업체들이 신기술 개발을 위한 국책 과제 수행에 올인하고 있다.



국책 과제 선정시 정부로부터 연구개발비 및 인적 지원을 받을 수 있는데다 기술 확보에 따른 시장 선점이 가능해 해외 시장 진출시에도 유리하기 때문이다.

특히 내년에는 정부가 반도체·디스플레이장비 등 15개 분야의 국책과제에 4300억원대의 재정을 투입, ‘글로벌 톱 5’ 진입을 위한 핵심 원천 기술 개발에 나설 계획이어서 해당 업체들의 관심을 한층 고조시키고 있다.

19일 업계에 따르면 현재 반도체·디스플레이장비 분야에서는 에이디피(차트, 입체분석, 관심등록)엔지니어링, 신성이엔지(차트, 입체분석, 관심등록), 주성엔지니어링이 각각 템플레이트(주조틀, Template), 팬필터유닛(Fan Filter Unit)시스템, 태양전지(솔라셀) 제조 장치 등에 대한 국책과제를 수행중이며 새로운 사업 과제 수주에도 높은 관심을 나타내고 있다.

디스플레이장비 전문제조업체인 에이디피엔지니어링은 올 7월부터 국책 과제를 통해 300㎜급 차세대 패키징 장비에 사용되는 ‘주조식 솔더 범프 제조용 템플레이트’ 개발을 진행중이다.

에이디피엔지니어링 허광호 사장은 “국책과제 수행을 통해 기존 액정표시장치(LCD) 부문에 편중된 사업 분야에서 벗어나 반도체 분야로의 진출을 모색하고 있다”며 “내년에도 보유 기술 중 호환이 가능한 새로운 분야에 대한 추가적인 국책 과제 참여를 적극 검토중”이라고 말했다.

반도체, 디스플레이 및 태양전지(Solar Cell) 분야에 대한 국책과제를 진행해온 주성엔지니어링은 관련 업체 및 기관들과의 협력 관계 구축을 통해 우수 상생 사례를 보여 줬다는 평가를 받고 있다.

이 회사는 특히 지난 2월부터 하이닉스가 실시중인 국내 반도체 재료·장비 업체에 대한 성능평가에서 300㎜ 라인용 지류코늄옥사이드(ZrO2) 증착 장비의 우수성을 인정받은 뒤 해외 시장에서 5500만달러 이상의 판매고를 올렸다. 또한 LCD 분야에서는 지난해 산업자원부 주관으로 진행된 ‘LCD 장비 국산화 프로젝트’에서 PECVD 장비 국산화에 기여한 공로로 ‘부품소재 TOP 7’에 선정되기도 했다. 이밖에 최근 진출한 태양전지 분야에서는 박막형 방식의 솔라셀 제조장치에 이어 결정질 실리콘 방식의 솔라셀 제조 장치 개발을 위한 국책 과제에도 참여, 국내 해당 기술 분야에서 확고한 지위를 다지고 있다.

신성이엔지도 지난 2004년부터 핵심사업 중 하나인 클린룸 사업분야에서 ‘고효율 초박형 팬필터유닛 시스템 개발’에 관한 국책 과제를 진행중이다. 에너지관리공단이 지원하는 이 과제는 팬필터유닛 시스템의 크기 감소를 통해 고효율·초박형의 시스템을 생산해 소비전력을 줄이는 등 에너지 절감을 실현시키는 대표적 친환경 기술로 주목 받고 있다.

이밖에 탑엔지니어링의 자회사인 탑나노시스가 한국기계연구소와 함께 탄소나노튜브(CNT) 응용제품을 개발 중인 것을 비롯, 반도체 장비업체인 선양디엔티는 산업자원부 주관 국책과제를 통해 습식 워터 젯(Abrasive Suspensor Jet) 방식의 초정밀 절삭 가공 시스템을 개발중이다. 또한 반도체 장비업체 큐로스도 서울대 주관 아래 PRAM용 증착 장비의 원천기술 개발에 박차를 가하고 있다.

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