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삼성전자와 SK하이닉스 등 메모리 기업들이 올해 양산하는 5세대 고대역폭메모리(HBM3E)가 전량 주문 완료된 가운데, 6세대 고대역폭메모리인 HBM4 시장 선점을 위한 기술 개발에도 박차를 가하고 있다. 국내 반도체 소부장(소재·부품·장비) 기업들도 이르면 내년 진행될 메모리 기업의 HBM4 양산 계획에 발맞춰, HBM4 생산에 투입될 제품 공급에 나설 채비를 하고 있다.

올 1월9일 업계에 따르면 HPSP와 이오테크닉스, 솔브레인 등 ‘하이브리드 본딩’에 필요한 장비와 소재를 보유한 기업의 제품이 삼성전자와 SK하이닉스 등의 HBM4 생산에 투입될 것으로 전망되고 있다. 하이브리드 본딩은 D램과 D램 사이의 가교 역할을 했던 범프 없이 칩을 접착시키는 차세대 패키징 기술로 삼성전자와 SK하이닉스 등 메모리 기업들이 이를 적용하기 위한 기술 연구에 매진하고 있다.

HBM은 D램과 D램을 수직으로 적층해 개발한 제품이다. HBM4는 D램을 16단까지 쌓아 올린다. 지난해 고객사에 공급된 제품인 HBM3는 12단으로, 여기에 4단을 추가로 올리는 것이다. 층이 늘수록 제품 크기가 커질 수밖에 없지만, 공간 효율을 중요시하는 고객사의 요구에 메모리 기업들은 제품 크기를 최소화할 수 있는 방안을 연구하고 있다. 하이브리드 본딩의 경우 범프 없이 HBM을 생산해 제품의 두께를 줄일 수 있어 핵심 기술로 떠오르고 있는 것이다.

HPSP의 주력 제품은 고압 수소 어닐링 장비이다. 어닐링 장비는 반도체 소자 내 접합부의 결함을 줄여 소자의 특성과 성능을 높이는 데 사용된다. HPSP의 어닐링 장비는 하이브리드 본딩의 마지막 단계에 속하는 어닐링 과정에 투입될 것으로 기대되고 있다. 하이브리드 본딩 어닐링 과정은 다이와 웨이퍼를 영상 400도가량 열을 가해 결합하는데, 이 과정에서 얇아진 금속층이 훼손되지 않도록 어닐링을 진행해야 한다. HPSP의 어닐링 장비가 이를 구현할 수 있어 업계의 주목을 받고 있다. 반도체 장비업계 관계자는 “연구 단계에서 HPSP 어닐링 장비가 하이브리드 본딩에 활용돼 효과를 입증한 것이 사실”이라며 “상용화 시점은 고객사가 사업성 등을 다각도로 검토한 뒤 이뤄지기 때문에 섣불리 예측하긴 어렵다”고 설명했다. 곽민정 현대차증권 연구원은 “어닐링 과정에서 금속층에 손상을 최소화할 수 있는 장비를 보유한 유일한 기업”이라고 했다.

이오테크닉스는 레이저 공정 장비를 생산한다. 이오테크닉스가 보유한 장비들 중 ‘레이저 스텔스 다이싱(Raser Stealth Dicing)’ 장비가 하이브리드 본딩 공정에 투입될 것으로 전망된다. 다이싱은 전체 웨이퍼를 반도체 칩 단위로 잘라내는 작업이다. 이오테크닉스의 레이저 다이싱 장비는 기존 다이싱 방법과 달리 비접촉 방식으로 작업을 진행한다. HBM을 적층할 때 웨이퍼를 얇게 가공하기 때문에 칩이 외부 충격에 쉽게 취약해지는데, 레이저 다이싱 장비는 직접 접촉 방식이 아닌 레이저 에너지로 웨이퍼를 절삭해 칩의 손상이 상대적으로 적다는 평가를 받는다. 송명섭 하이투자증권 연구원은 “HBM4는 16단으로 적층되는 구조로 D램의 수가 늘어나 D램 두께도 얇아져야 한다”며 “칩 손상 없이 칩을 잘라낼 수 있는 스텔스 다이싱 장비의 수요가 확대될 것”이라고 설명했다.

솔브레인은 HBM용 화학적기계연마(CMP) 슬러리를 삼성전자와 SK하이닉스 등에 공급하는 소재 전문업체다. CMP 슬러리는 웨이퍼 표면을 평탄화하는 작업인 CMP 공정에 활용되는 연마제다. 하이브리드 본딩 초기 단계인 반도체 칩 표면 가공 시에 칩의 두께를 줄이기 위한 CMP 공정이 필수적으로 적용되는데, 이에 따른 CMP 슬러리 투입량도 늘어날 것으로 예상된다. 류형근 삼성증권 연구원은 “반도체 후공정에서 활용될 하이브리드 본딩에 솔브레인의 CMP 슬러리가 투입돼 CMP 슬러리 관련 사업이 구조적으로 성장할 것”이라고 했다.

반도체 공정 장비 제조사 '이오테크닉스'가 파운드리 세계 1위 TSMC의 정식 밴더사로 등록된 데 이어 신규 공정 장비인 '디본더'를 공급하면서 글로벌 메이커로서의 입지를 다지고 있다. 삼성전자 HBM(고대역폭메모리) 양산라인에 레이저 어닐링 장비를 입고한 이오테크닉스는 올해 TSMC 공급라인까지 잡으면서 파운드리 양대 라이벌의 정식 밴더사로 등극했다.

올 1월4일 업계에 따르면 최근 이오테크닉스는 대만 TSMC 측에 개발을 완료한 디본더 장비를 입고하고, 셋업(set-up)을 진행하고 있는 것으로 알려졌다. 지난해 하반기 퀄(품질인증) 테스트를 거쳐 TSMC의 정식 밴더사로 등록된 이오테크닉스는 TSMC의 정식 PO(구매주문)를 받아 디본더 장비 4대 가량을 설치하고 있다. 통상 리드타임(조립에서부터 완제품 입고까지 기간)이 6개월 가량인 것을 감안하면 이르면 올 2분기에서 3분기께 TSMC 양산라인에 설치, 완료될 것으로 보인다.

업계의 말을 종합하면 디본더의 ASP(공급가)는 약 15억원에서 20억원 수준이다. 총 4대의 인도, 설치가 완료되면 60억원에서 80억원 가량의 신규 매출액이 발생할 전망이다. 이오테크닉스는 지난해 반도체 다운 사이클의 늪에서도 매출액(시장 추정치) 3300억원, 영업이익 360억원 가량을 기록했다. 올해 HBM 시장을 중심으로 D램을 집적한 칩렛, CXL(컴퓨트 익스프레스 링크) 등의 파생 기술들이 시장을 주도할 것으로 예상되는 만큼 전후공정 상에서 이오테크닉스의 지명도가 높아질 전망이다.

이오테크닉스가 지난해부터 본격 개발하기 시작한 디본더 장비는 HBM 공정 프로세스의 핵심인 TSV(실리콘관통전극) 기술과 관련된 공정 장비다. D램이 적층된 HBM의 특성상 TSV를 통해 구멍을 뚫는데 이 과정에서 WSS(Wafer Supporting System) 공정이 수반된다.

WSS는 그라인딩 작업으로 얇아진 웨이퍼에 추가 공정을 할 수 있도록 캐리어 웨이퍼를 붙이는 작업이다. 캐리어를 붙이는 본딩과 범프 형성 뒤 다시 캐리어를 떼어내는 디본딩(de-bonding) 공정이 필요한데, 이오테크닉스가 개발한 장비가 바로 이 디본딩 장비다. 웨이퍼 뒷면 공정이 완료되면 캐리어를 떼어내는 동시에 본딩 접착제 성분이 남아 있지 않도록 세정까지 수행하는 디바이스다. 스펙에 따라서 ASP가 다르지만, HBM의 경우 적층구조를 기본으로 하기 때문에 상대적으로 공급가가 높게 형성된 것으로 알려졌다.

TSMC는 애플의 최대 패키징 밴더사로 HBM 시장이 개화하면서 현재 GPU(그래픽처리장치) 시장을 주도하고 있는 엔비디아를 비롯 퀄컴, AMD 등을 두루 고객사로 확보하고 있다. 팬아웃(Fan-out) 패키징인 CoWoS 공법을 앞세워 고사양 칩용 2.5D 패키징 시장을 장악하고 있다. 플립칩-볼그리드어레이(FC-BGA) 기판 위에 GPU, HBM, SoC(시스템온칩) 등이 군집을 이루고 있는 패키징에 특히 강세를 보이고 있다.

TSMC향 고객사 발주가 지속적으로 늘어나고 있고, TSMC 역시 CoWoS 캐파 투자를 재차 확대하고 있는 만큼 업계에서는 향후 TSMC 내 이오테크닉스의 영향력이 지속적으로 커질 거라고 예측하고 있다. 유사 섹터에서 경쟁하고 있는 일본의 디스코(DISCO)의 자리를 위협할 수 있을 거라는 평가도 나온다. 단순히 장비 입고 이상의 의미가 있다는 이야기다.

이오테크닉스는 이미 국산화 시장을 에이밍하고 개발한 웨이퍼 후공정 장비 레이저 그루빙(Laser Grooving) 장비를 TSMC에 납품하면서 디본딩 외 선행 레퍼런스를 확보한 이력이 있다. 레이저 그루빙은 웨이퍼를 칩 단위로 자르기 전 웨이퍼의 상당 부분을 레이저로 제거해 블레이드나 레이저 다이서(Dicer)가 통과할 수 있도록 가이드라인을 그리는 디바이스다. 웨이퍼 위에 바둑판 무늬처럼 선을 그으며 좁은 논두렁을 파내려가는 장비다. 디스코가 해당 시장의 절반 이상을 장악하고 있다.

반도체 업계 관계자는 "국내외 고객사와 진행하고 있는 성능평가 등에서 디스코를 뛰어넘는 수율 데이터가 나오고 있다"고 전했다. 디스코가 시장의 지배적 지위를 활용, IDM 및 파운드리와의 단가 협상에서 우위를 점하는 상황에서 디스코를 대체할 경쟁사가 나올 가능성이 커진 셈이다.

이와 관련 이오테크닉스 관계자는 "(고객사와 강력한 수준의 NDA로 인해) 어떠한 언론사와도 접촉할 수 없다"면서도 "디본딩 공급 현황이 현재 매출단까지 올라와 있는 것은 맞으며, 장비의 출고와 셋업 등을 감안하면 올해 2분기 혹은 3분기 경 디본딩 매출이 산입될 예정"이라고 밝혔다.

하이투자증권은 지난 12월21일 이오테크닉스에 대해 주력 제품의 수주가 증가하고 있고 해외 고객사의 후공정 투자가 올해 대비 늘어날 것이라고 보고 매수 의견을 내고 목표주가를 17만8000원으로 상향 조정했다.

송명섭 하이투자증권 연구원은"이오테크닉스는 올 3분기에 성과급 및 자회사 관련 상각 등 50억원의 일회성 비용이 발생했는데 이 부분이 해소되면서 4분기 영업이익은 77억원으로 전분기 대비 160% 증가할 것으로 예상된다"며 "내년 실적 개선 전망과 성장성에 기반해 목표주가를 17만8000원으로 상향한다"고 분석했다.

송 연구원은 이오테크닉스의 다양한 제품 매출이 내년 대폭 상승할 것으로 내다봤다.송 연구원은 "이오테크닉스는 삼성전자 P4라인향 매출이 내년 초부터 개시되면서 어닐링 장비 매출이 올해 대비 소폭 증가할 전망"이라며 "커팅 장비 매출 역시 올해 대비 299% 증가한 299억원을 기록할 것으로 추정된다"고 말했다.송 연구원은 이어 "스텔스 다이싱 장비는 내년 초 고객사의 초기 인증이 완료되면서 2분기부터 실적에 기여할 것으로 판단된다"며 "이 장비는 3D 낸드뿐만 아니라 HBM3 및 차세대 HBM에 매우 유용한 제품이기 때문에 향후 빠른 매출 증대가 기대된다"고 전망했다.

이오테크닉스의 실적 부진에도 주가 흐름에 대한 증권가의 긍정적인 전망이 나왔다. 이오테크닉스는 레이저 장비를 제작하는 기업으로 주로 반도체 산업과 밀접해 있다. 때문에 하반기 실적 바닥 통과 이후 내년부터는 실적 개선이 기대된다는 이유에서다. 

작년 11월15일 한국거래소에 따르면 코스닥시장에서 이오테크닉스의 주가는 오후 2시 5분 기준 전 거래일보다 5600원(3.54%) 오른 16만4000원에 거래되고 있다. 이오테크닉스는 지난 8월 52주 최고가 18만2900원을 기록 후 이달 15만원선까지 내려앉았다. 

주가 부진은 실적 저하 때문이다. 지난 13일 이오테크닉스는 올해 3분기 매출액 740억원 영업이익 30억원을 기록했다고 공시했다. 이는 전년 동기 대비 각각 36.1%, 87.5% 감소한 수준이다. 특히 3분기 영업익은 시장 전망치(135억원)를 77.8% 밑도는 수준으로 파악됐다. 

증권가는 이오테크닉스의 실적 부진 원인으로 반도체 산업의 업황 부진을 짚었다. 반도체의 부진에 따라 전통 비즈니스인 레이저 마커·어닐링 등의 성과가 부진했다는 설명이다. 레이저 마커 장비의 매출 감소와 함께 20억원가량의 성과급 지급 또한 원인으로 꼽혔다. 

이오테크닉스의 3분기 부문별 매출액을 살펴보면, ▲반도체 장비 310억원 ▲디스플레이 장비 100억원 ▲인쇄회로기판 드릴러(PCB Driller) 150억원 ▲2차전지(매크로) 60억원 ▲기타 139억원 등으로 집계됐다. 전 분기 대비 증가한 곳은 없는 것으로 나타났다. 

실적 부진은 4분기까지 이어질 전망이다. 증권가는 통상적으로 4분기 발주가 감소하는 계절성 때문에 3분기보다 낮은 매출액을 기록할 것으로 봤다. 또 외형 감소에 따른 고정비 부담 증가가 이어져 영업이익도 줄어들 것으로 내다봤다. 

증권가에서 추정하는 이오테크닉스의 4분기 실적은 매출액 717억원 영업이익 17억원이다. 이는 전년 동기 대비 각각 31.9%, 89.4% 감소한 수준이다. 그러나 4분기 실적 바닥을 통과한 이후 내년부터 가파른 회복세를 보일 것으로 전망했다. 

가장 큰 이유는 인공지능(AI) 산업이 개화하면서 반도체 칩의 미세화·고집적화 트렌드가 이어지고 있어서다. 이에 이오테크닉스의 주요 장비인 어닐링 및 스텔스 다이싱 장비 등의 중요도가 높아졌다.아울러 고객사의 고대역폭메모리(HBM) 생산능력이 2배 이상 증가할 것으로 전망되기 때문이다. 

교보증권은 이오테크닉스에 매수 의견을 유지하고 목표주가를 19만5000원으로 상향 조정했다. 상상인증권과 부국증권 또한 매수 의견을 내고 목표주가를 각각 18만5000원, 18만원으로 상향했다. 

엄태웅 부국증권 연구원은 "이오테크닉스는 내년 주력제품들의 빠른 매출성장이 전망된다"라며 "우선 국내 95%, 글로벌 70% 점유율을 보이고 있는 마커장비의 높은 성장이 기대되며, 2020년, 2021년도 반도체 시장 호황기 시 연 1600~1700억원 수준의 매출을 감안하면 2024년 높은 성장 가능성이 보인다"라고 설명했다. 

김민철 교보증권 연구원은 "올해부터 그루빙 및 스텔스 다이싱 부문에서 기존에 없던 신규 매출이 발생하며, 내년부터 매출 성장을 견인할 것으로 예상된다"라며 "풀 커팅(Full cutting) 시장이 개화될 경우 이오테크닉스는 레이저 커팅장비 시장에서 글로벌 리더로 입지를 다질 전망"이라고 말했다. 

작년 3분기 연결기준 매출액은 739.61억으로 전년동기대비 36.11% 감소. 영업이익은 29.52억으로 87.45% 감소. 당기순이익은 79.10억으로 74.65% 감소. 

3분기 누적매출액은 2447.01억으로 28.42% 감소. 영업이익은 234.89억으로 69.50% 감소. 당기순이익은 340.19억으로 55.77% 감소. 

반도체 레이저마커, 레이저응용기기 제조 및 판매를 주요 사업으로 영위. 레이저를 이용하여 반도체, PCB, Display, 휴대폰 산업의 주요 생산 장비를 제조하여 국내외로 공급중. 반도체 생산장비인 Laser Marker, Laser Cutter 등이 주요제품. 최대주주는 성규동 외(31.07%), 주요주주는 국민연금공단(5.18%). 

2022년 연결기준 매출액은 4471.58억으로 전년대비 14.40% 증가. 영업이익은 927.99억으로 18.77% 증가. 당기순이익은 772.43억으로 6.76% 증가. 

2001년 9월21일 1794원에서 바닥을 찍은 후 작년 9월4일 182900원에서 최고가를 찍고 밀렸으나 22일 131100원에서 저점을 찍은 모습입니다. 이후 11월7일 175400원에서 고점을 찍고 밀렸으나 12월5일 133600원에서 저점을 찍은 후 올 1월9일 162500원에서 고점을 찍고 밀리는 중으로, 이제부턴 밀릴때마다 물량 모아둘 기회로 보여집니다.

손절점은 154500원으로 보시고 최대한 저점을 노리시면 되겠습니다. 151500원 전후면 무난해 보이며 분할매수도 고려해 볼수 있겠습니다.목표가는 1차로  166700원 부근에서 한번 차익실현을 고려해 보시고 이후 눌릴시 지지되는 저점에서 재공략 하시면 되겠습니다. 2차는 183400원 이상을 기대 합니다.

감사합니다.