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● 아이피에스 특허 취득==>"원익"은 같이 호재임.게시글 내용
특허취득 +---------------------------------------+--------------------------------------------------+ | 1. 특허권자 | (주)아이피에스 | +---------------------------------------+--------------------------------------------------+ | 2. 특허의 명칭 | 반도체 박막증착 장치 | +---------------------------------------+--------------------------------------------------+ | 3. 특허내용 | 본 발명은 반도체 웨이퍼에 박막을 증착시키키 위한 | | | 반도체 박막증착장치에 관한 것으로서 샤워헤드판 | | | 에 연결되어 불활성기체를 공급하는 불활성기체 공 | | | 급원과 샤워헤드판 또는 확산판에 형성되어 불활성 | | | 기체가 분사되어 리엑터 블럭의 내주면에 커튼을 형 | | | 성시키는 유로를 구비함으로써 확산판을 통하여 유 | | | 입되는 반응기체와 반도체 웨이퍼에서 래머너 플로 | | | 우(Laminar Flow)가 형성되며 반응기체에 노출되는 | | | 영역을 줄여 반응용기의 내부 청소주기를 연장시키 | | | 는 효과가 있음 | +-------------------+-------------------+--------------------------------------------------+ | 4. 특허의 출원 및 | 출원일 | 1999년 05월 18일 | | +-------------------+--------------------------------------------------+ | 취득 | 취득일 | 2005년 10월 05일 | +---------------------------------------+--------------------------------------------------+ | 5. 투자액 (원) | 30,000,000 | +---------------------------------------+--------------------------------------------------+ | 6. 취득 특허의 활용계획 | 당사의 증착 장치에 기 적용되고 있는 기술입니다. | +---------------------------------------+--------------------------------------------------+ | 7. 관련 증빙서류 접수일 | 2005년 11월 21일 | +---------------------------------------+--------------------------------------------------+ | 8. 기타 | 1.출원 : 유럽 | | | 2.출원번호 : 99303880.1 | +---------------------------------------+--------------------------------------------------+ | ※ 관련공시일 | - |
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