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케이씨텍, 필터 정화정치 특허취득
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[머니투데이 김경원 기자]케이씨텍은 ‘대면적 기판 공정시스템의 필터 정화장치’에 대한 특허를 취득했다고 15일 공시했다.
이번 발명은 필터가 설치된 상태로 고압의 세정수를 이용해서 필터를 세정함에 따라 필터를 분리하거나 다시 설치할 필요가 없도록 한 점이 특징이다.
김경원기자 kwkim@
<저작권자 ⓒ '돈이 보이는 리얼타임 뉴스' 머니투데이>
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