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[머니투데이 백경훈 기자]케이씨텍은 '건조 장치 및 방법'에 대한 특허를 취득했다고 25일 공시했다.

* 다음은 공시 원문이다.

1. 특허명칭 : 건조 장치 및 건조 방법

2. 특허 주요내용 : 본 발명은 건조장치 및 건조방법에 관한것으로, 공정챔버와 연결되어 건조제를 공급하는 공급라인에 히팅 유닛(heating unit)을 배치하여 미립자 상태로 분사된 건조제를 가열함에 따라 챔버내의 건조 분위기를 최적화하여 웨이퍼 건조 효율을 높일 수 있는 발명임.

3. 특허권자 : 주식회사 케이씨텍

4. 특허취득일자 : 2008년 08월 22일

5. 특허 활용계획 : 반도체 Wet 장비에 적용

6. 확인일자 : 2008년 08월 22일

백경훈기자 2baik@

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