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케이씨텍(029460), 특허취득(습식세정장비의 웨이퍼 정렬장...)
게시글 내용
| 공시일자 | 특허명칭 | 공시당일 등락률 |
| 금일공시 | 습식세정장비의 웨이퍼 정렬장치 및 웨이퍼 정렬방법 | +1.11% |
| 08.08.13 | 반도체 웨이퍼 재생장치 | -2.93% |
| 08.08.12 | 반도체 웨이퍼 이송용 진공흡착장치 | - |
| 08.06.18 | 슬릿 코터용 예비토출장치 | +2.93% |
| 08.06.04 | 건조제 공급장치 | -2.56% |
| 08.01.22 | 예비토출부와 이를 포함하는 기판 코팅장치및 기판 코팅방법 | -8.0% |
| 07.10.16 | 반도체용 웨이퍼 카세트의 파지여부를 감지하는장치 | -1.16% |
| 07.10.16 | 대면적 기판의 건식 세정모듈 및 이를 이용한세정장치 및 방법 | -1.16% |
| 07.10.12 | 베스 배기장치 | -5.92% |
| 07.10.12 | 고체 분사노즐 및 대용량 고체 분사노즐 | -5.92% |
| 07.10.12 | 다중 슬릿형 노즐을 가지는 기판세정장치 및 이를 이용한 세정방법 | -5.92% |
| 07.10.01 | 휴대용 건식세정장치 | +5.96% |
| 07.08.22 | 기판 이송 장치용 기판 감지 장치 | +0.17% |
| 07.08.22 | 분사 노즐 및 이를 이용한 세정 시스템 | +0.17% |
| 07.08.22 | CMP용 고성능 슬러리 및 그를 이용한 기판 연마방법 | +0.17% |
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