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[머니투데이 백경훈 기자]케이씨텍은 '반도체 웨이퍼 재생장치'에 대한 특허를 취득했다고 13일 공시했다.

* 다음은 공시 원문이다.

1. 특허명칭 : 반도체 웨이퍼 재생장치

2. 특허 주요내용 : 본 발명은 반도체 웨이퍼 재생장치에 관한 것으로, 웨이퍼의 재생처리공간을 외부와 완전히 차단함으로써, 그 미디어와 웨이퍼 상의 패턴 제거에 의해 발생되는 파티클이 외부로 유출되는 것을 방지할 수 있다.

3. 특허권자 : 주식회사 케이씨텍

4. 특허취득일자 : 2008년 08월 12일

5. 특허 활용계획 : 반도체 Wet 장비에 적용

6. 확인일자 : 2008년 08월 12일

백경훈기자 2baik@

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