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[머니투데이 백경훈 기자]케이씨텍은 '건조제 공급장치'에 대한 특허를 취득했다고 4일 공시했다.

* 다음은 공시 원문이다.

1. 특허명칭 : 건조제 공급장치

2. 특허 주요내용 : 본 발명은 건조장치에 관한 것으로, 액상 건조제의 수위를 일정하게 유지시켜 액상 건조제의 기화 효율을 향상시킬 수 있도록 한 건조제 공급장치에 관한 것이다. 본 발명은 진동자에 대한 액상 이소프로필 알콜의 최적 수위가 안정적으로 일정하게 유지될 수 있게 함으로써,진동자에 대한 무화현상이 최적으로 구현될 수 있게 하며,보다 효과적으로 웨이퍼의 건조가 이루어질 수 있게 한다

3. 특허권자 : 주식회사 케이씨텍

4. 특허취득일자 : 2008년 06월 03일

5. 특허 활용계획 : 반도체 Wet장비 적용

6. 확인일자 : 2008년 06월 03일

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백경훈기자 2baik@

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