| 공시일자 |
특허명칭 |
공시당일 등락률 |
| 금일공시 |
웨이퍼 또는 기판 세정시 발생되는 이물질 분리장치 및 방법 |
-2.81% |
| 금일공시 |
딥 타입 세정 시스템 및 그 세정방법 |
-2.81% |
| 금일공시 |
연마용 슬러리, 그 제조방법 및 기판 연마방법 |
-2.81% |
| 07.04.02 |
세정조 및 이를 구비하는 세정장치 |
-0.66% |
| 07.04.02 |
기판건조용 에어나이프 모듈 및 이를 이용한 기판건조장치 |
-0.66% |
| 07.04.02 |
건식세정장치의 승화성 고체입자 공급장치 |
-0.66% |
| 07.04.02 |
분사 노즐 |
-0.66% |
| 07.04.02 |
대면적 기판의 식각장치 |
-0.66% |
| 07.04.02 |
감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화방지장치 및 방법 |
-0.66% |
| 07.03.21 |
중성화빔을 이용한 표면처리장치 및 방법 |
+0.14% |
| 07.03.21 |
노즐 세정장치 및 방법 |
+0.14% |
| 07.03.21 |
중성화빔을 이용한 표면처리장치 |
+0.14% |
| 07.03.21 |
냉각기 및 이를 포함하는 에어로졸 생성시스템co2 세정기에 적용 |
0.0% |
| 07.02.23 |
대면적 기판 이송장치 |
+0.7% |
| 07.02.09 |
화학기계적 연마용 세리아 슬러리 및 그 제조방법 |
+0.56% |
| 07.02.09 |
연마용 슬러리 및 이의 제조 방법 및 기판의연마 방법 |
+0.56% |
| 07.02.02 |
건식세정장치 |
+1.17% |
| 07.01.11 |
세정조 및 이를 구비하는 세정장치 |
+0.14% |
| 07.01.10 |
반도체 세정장비용 웨이퍼 정렬키트 및 이를 이용한 정렬방법 |
-1.66% |
| 07.01.05 |
건식세정장치 |
-2.77% |
| 07.01.04 |
CMP용 슬러리 및 그의 제조방법 |
0.0% |
| 06.12.27 |
CMP용 슬러리와 이의 제조 방법 및 기판의 연마방법 |
+1.52% |
| 06.12.27 |
슬릿형 노즐을 가지는 혼합 유체 분사 기구 |
+1.52% |
| 06.12.08 |
연마용 슬러리 및 이의 제조방법 및 기판연마방법 |
+0.27% |
| 06.11.29 |
연마입자, 연마용 슬러리 및 이의 제조방법 |
-0.52% |
| 06.11.29 |
로봇 척 세정조 겸용 기판 린스조, 이를 포함하는 습식세정 장치 및 기판 세정 방법 |
-0.52% |
| 06.11.29 |
화학기계적 연마용 세리아 슬러리 및 그 제조방법 |
-0.52% |
| 06.11.29 |
유체 내의 불순물 여과장치 및 이를 포함하는웨이퍼 가공장치 |
-0.52% |
| 06.11.15 |
대면적 기판 공정시스템의 필터 정화장치 |
+0.52% |
| 06.10.24 |
정밀부품 세정용 노즐 |
-2.23% |
| 06.10.18 |
준위 감지 장치 및 이를 이용한 세정 장치 |
+3.69% |
| 06.09.21 |
연마용 슬러리 및 이의 제조 방법 및 기판 연마방법 |
-2.27% |
| 06.09.18 |
기판세정용 이류체 분사모듈 및 이를 이용한 기판세정장치 |
+1.93% |
| 06.09.18 |
세정기의 봉 히터 장치 및 그 봉 히터의 돌출방지 방법 |
+1.93% |
| 06.09.06 |
케미컬 공급장치 및 그 공급방법 |
+2.47% |
| 06.08.11 |
CMP용 고성능 슬러리 및 그를 이용한 기판 연마방법 |
+3.07% |
| 06.08.11 |
연마용 슬러리 및 기판 연마 방법 |
+3.07% |
| 06.08.11 |
CMP용 슬러리 및 그의 제조법 |
+3.07% |
| 06.08.11 |
연마용 슬러리 및 기판 연마 방법 |
+3.07% |
| 06.07.27 |
기판 가장자리를 세정하기 위한 장치 |
+1.94% |
| 06.06.09 |
연마용 슬러리 및 이의 제조방법 |
+5.23% |
| 06.04.27 |
표면 세정용 에어로졸 생성시스템 및 그 냉각장치(System for Forming Aerosols and Cooling Device Incorporated Therein) |
-0.53% |
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