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케이씨텍은 지난 3월16일 처리조 내의 이물질이 외부로 용이하게 배출될 수 있도록 정체구간의 발생을 방지하고 필요에 따라 층류 및 난류를 형성시킴으로서 웨이퍼의 세척효율을 증가시킴은 물론 세첵시간을 단축할 수 있는 기판세척장치에 대한 특허를 취득했다고 7일 밝혔다.
이 회사는 앞서 지난 2001년 3월30일 특허를 신청한 바 있으며. 총 투자액은 15억원이다.
- 머니투데이 -
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