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[머니투데이 이학렬 기자]풍산마이크로텍이 세마텍(SEMATECH)과 반도체 장비 납품 계약을 체결했다고 21일 밝혔다.

풍산마이크로텍은 반도체 장비사업을 추진하면서 지난 3월 세마텍과 장비공동개발계약을 체결한 바 있다.

세마텍은 삼성, 인텔, IBM, TI 등 주요 반도체 회사들이 출자해 운영되는 연구소로 차세대 노광(EUV), 절연막 기술(High-K) 등을 각 회사 연구진들이 공동 개발하는 곳으로 알려져 있다.

이번에 납품할 반도체장비의 핵심기술인 '고압저온처리'는 High-K 물질을 비롯 다양한 신소재를 반도체 공정에 도입했을 때 소재의 열적 안정성을 해치지 않으면서도 반도체소자의 처리속도, 신뢰성 및 수율을 향상 시킬 수 있게 해주는 기술이라고 회사측은 전했다.

풍산마이크로텍은 올해 여름 장비개발 완료 후 세마텍 연구진들과 다양한 반도체 공정기술을 공동 개발해 왔다고 설명했다.

세마텍의 공정연구 매니저인 최리노(Rino Choi) 박사는 "풍산마이크로텍의 고압저온처리기술은 High-K기술의 상용화를 앞당기는데 크게 기여할 것으로 기대된다"고 평가했다.

한편 풍산마이크로텍은 이번 장비 납품을 계기로 세마텍 회원사들과 더욱 적극적인 공동연구와 더불어 공격적인 마케팅을 펼칠 예정이라고 밝혔다.

이학렬기자 tootsie@

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