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[머니투데이 김진형 기자][수율관리시스템과 설비분석시스템 통합..불량원인 1시간내 분석]

동부하이텍 반도체 부문이 반도체의 품질을 관리하는 수율관리시스템과 생산설비의 오작동을 관리하는 설비분석시스템 등 2개의 품질 관련 설비를 통합해 운영하는 생산관리시스템을 구축했다.

동부하이텍은 시스템 통합을 통해 그동안 별도로 운영됐던 2개의 생산관리시스템이 생산라인에서 실시간으로 회로 선폭·박막 두께·온도·압력 등 생산 관련 데이터를 상호 연개해 분석함으로써 품질 불양의 원인을 정확하게 분석할 수 있게 됐다고 23일 밝혔다.

또 기존에는 최대 2~3일 정도 걸리던 분석 시간을 30분~1시간 이내로 단축시킴으로써 불량 웨이퍼를 대폭 줄여 제조비용을 최소화하고 생산성을 높일 수 있게 됐다고 회사측은 강조했다. 동부하이텍은 이 시스템으로 수율(생산제품 중 정상제품 비중)이 5% 이상 높아질 것으로 기대했다.

이번 시스템 구축은 7개월 동안 공정개발팀·공정관리팀·생산기술팀·시스템기술파트·제조기술팀 등 8개 부서의 품질관련 엔지니어 60여명과 약 60억원의 자금이 투자됐다.

동부하이텍 관계자는 "이번 시스템 통합으로 고객들에게 고품질의 웨이퍼를 안정적으로 공급할 수 있게 돼 고객들이 적기에 시장에 진입할 수 있는 고객 니즈(needs) 적기 대응 시스템을 완성하게 됐다"고 평가했다.

동부하이텍은 앞으로 통합된 수율관리시스템과 설비분석시스템의 각종 품질 관련 데이터들의 상관관계 분석 자료를 축적하고 개별 데이터들 중 최적의 상관관계를 찾아 프로세스화 할 계획이다. 이를 통해 공정 초기에 품질 불량 원인을 발견하고 조치할 수 있는 고효율 생산시스템을 갖춰나갈 방침이다.

김진형기자 jhkim@

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