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반도체·디스플레이 장비업체 '제우스'가 고대역폭메모리(HBM)용 패키지 신규 장비인 '아톰(ATOM)'·'새턴(SATURN)' 양산에 본격 돌입했다.제우스가 개발한 '아톰'과 '새턴'은 HBM 생산시 활용되는 실리콘관통전극(TSV) 세정 공정에 사용되는 HBM용 패키지 장비다. HBM은 수직으로 적층된 D램에 실리콘관통전극(TSV)으로 미세한 구멍을 뚫어 연결하는 과정에서 오염도에 민감하기 때문에 관련 장비가 요구된다.

제우스 관계자는 5월2일 "아톰·새턴의 실제 양산으로의 물량은 올해가 첫 해다. 첨단 패키징 공정에서 HBM 투자는 계속 있어질 것으로 보고 있기에 관련 장비 수요는 계속 늘어날 것으로 전망한다"며 "본딩 장비는 현재 개발이 진행 중에 있다. 추가적으로 양산 전환을 잘 시키는 것이 목적이며 본딩 관련 과제는 올해 말 종료될 예정이다"고 말했다.아톰은 캐리어에서 웨이퍼를 떼어냈을 때 잔여물을 없애는 역할을, 새턴은 식각 공정 이후 구리(Cu) 등 잔여물을 날리는 공정에서 사용된다. 제우스는 HBM용 패키지 장비 상용화를 본격화하면서 신규 제품인 '임시본딩·디본딩장비(TBDB)' 개발에도 속도를 내고 있다.

제우스는 반도체와 디스플레이 제조공정에 사용되는 싱글 웨이퍼 세정장비, 디스플레이 열 장비 등을 제조 및 판매하는 업체다. 주요 고객사는 삼성전자, SK하이닉스 등의 반도체 제조사와 LG디스플레이, 삼성디스플레이 등이 있다.최근 시장은 인공지능(AI) 서비스 및 온디바이스 AI 기기의 등장에 HBM 수요가 급증하고 있다. 메모리업체의 생산 증설이 잇따르고 가운데 제우스는 관련 수혜를 통해 수익성이 크게 성장될 전망이다.제우스는 지난해 기준, 반도체 장비가 전체 매출의 약 73%(매출액 2966억원)을 차지하면 전체 실적을 이끌었다. 로봇 사업이 17%(705억원), 플러그밸브 5%(222억원), 디스플레이 장비는 3%(130억원)비중을 차지한다.지난해 제우스는 연구개발(R&D)비용, HBM용 세정장비 개발 등의 투자로 매출액 4029억원, 영업이익 71억원으로 전년대비 아쉬운 실적을 기록했다.올해는 반도체 장비 수요 증가로 역대 최대 실적을 기록할 전망이다. 금융정보업체 에프앤가이드 컨센서스(시장 평균 추정치)에 따르면 2024년 제우스 매출액은 5652억원, 영업이익 600억원을 기록할 것으로 전망됐다. 전년대비 각각 40.29%, 845% 증가하는 수치다.김영건 미래에셋증권 연구원은 "제우스는 올해 반도체·로봇 사업 부문에서 큰 폭의 외형 성장이 기대된다"며 "매출액 성장은 반도체 부문이 가장 클 것으로 전망되며, 성장률 측면에서는 로봇이 클 것으로 보인다"고 전했다.

제우스는 반도체·디스플레이 사업에 이어 로봇 사업도 성장궤도에 오를 전망이다.1970년 무역회사로 설립된 제우스는 과거 일본의 로봇업체 산쿄(Sankyo)에서 지난 1995년 일본 로봇업체 산쿄에서 디스플레이 반송용 로봇을 들여오면서 로봇사업을 시작했다. 현재까지 수 천대의 로봇을 들여와 유지보수 사업을 이어오고 있다. 2019년 라이선스를 확보 후에는 산업용 6축 다관절 로봇인 '제로(ZERO)'를 상용화하면서 산업용 로봇 제조 사업에 진출했다.올해는 로봇 사업에서 반도체 시장으로의 첫 진출에 나섰다. 지난해 제우스는 다관절 로봇에 매니퓰레이터(로봇 팔)가 부착된 '반도체 공정용' 로봇 개발을 완료하고, 지난달 글로벌 반도체 제조사에 공급에 성공했다. 그동안 외식업(F&B)과 화장품 산업 등에서 제우스의 로봇이 활용돼 왔지만, 반도체 공정 시장으로의 진출은 처음이다.제우스는 "로봇은 반도체 시장 진출을 기반으로 시장 영역을 더욱 확장해 나갈 예정이다. 아시아 및 유럽 등 해외 시장도 적극적으로 공략하고 있으며, 로봇 사업의 매출 비중을 계속 높여갈 전망이다"고 밝혔다.

반도체·디스플레이 제조장비 및 로봇 전문기업 제우스가 자사주 취득 신탁 계약을 맺었다.

4월29일 전자공시시스템에 따르면 제우스는 주가 안정 및 주주가치 제고를 위해 삼성증권과 50억원 규모의 자사주 취득 신탁 계약을 체결했다. 계약기간은 내년 4월 28일까지로, 적절한 시점에 자사주를 매입해 주주 가치를 높이는 방향으로 운영할 계획이다. 제우스 관계자는 "제우스의 상법상 배당 가능 이익 한도는 약 1618억원으로, 이번 자사주 매수가 완료돼도 1568억 원의 충분한 재원이 남는다"며 "해당 재원은 회사의 지속적인 성장과 주주가치 제고에 적극 활용될 예정"이라고 밝혔다. 제우스는 호실적을 기반으로 주주 친화 정책을 펼치고 있다. 지난해 자사주 소각에 이어 올해 1주당 2주를 배정하는 무상증자를 진행하는 등 주주가치 제고를 위한 노력을 이어가고 있다. 한편 제우스는 올해 사업 전 부문에서 수익 성장을 위해 힘쓰고 있다. 반도체 장비 부문에서는 전공정 및 첨단패키징(AVP)에 필요한 고대역폭메모리(HBM) 등 기존의 반도체 공정 세정 장비뿐만 아니라 임시본딩·디본딩장비(TBDB) 등 신제품 상용화를 준비하고 있다. 

국내 반도체·디스플레이 장비 업체 제우스가 '첨단 패키징(Advanced Packaging)' 공정에서 새로운 기회를 잡았다. 주력 제품인 매엽식(싱글) 세정장비가 기존 전공정의 영역을 넘어, HBM(고대역폭메모리)용 TSV(실리콘관통전극) 공정에도 활용되기 시작한 것이다.

나아가 제우스는 회사의 신성장동력 확보에도 적극 나서고 있다. 세정장비의 뒤를 이을 신규 제품으로 고온·고식각율 식각장비(PEP), 임시본딩·디본딩장비(TBDB) 등 상용화를 준비 중이다.

4월15일 제우스 화성사업장(본사)에서 한 매체의 기자와 만난 정광일 반도체연구소 담당은 "반도체 후공정 기술이 급격히 발전하면서 장비업체 관점에서도 전에 없던 새로운 시장이 창출되고 있다"며 "신장비들도 일부 고객사 및 공정에 검증을 진행하는 등 많은 진척을 이뤘다"고 설명했다. 

지난 1970년 설립된 제우스는 반도체·디스플레이용 습식(Wet) 세정장비를 주력으로 개발해 왔다. 세정장비는 통해 제조 공정에서 발생하는 각종 이물질을 제거하는 역할을 담당한다.

제우스는 본사를 통해 싱글 세정장비를, 일본 자회사 'J.E.T(제이이티)'를 통해 배치 세정장비를 모두 다루고 있다. 싱글형은 웨이퍼를 한 장씩 처리하는 대신 세정력이 뛰어나다. 배치형은 한 번에 20~50장의 웨이퍼를 처리할 수 있어 생산성이 높다.

지난해 업황 부진으로 연 매출(4028억원)이 전년 대비 20.9% 줄어들었으나, 올해에는 반도체 분야를중심으로 뚜렷한 매출 성장세가 예상된다. 최근까지 첨단 패키징용 세정장비에 대한 수주가 활발한 것으로 알려졌다. 주요 고객사인 삼성전자, SK하이닉스가 앞다퉈 HBM 생산능력 확대에 나선 데 따른 효과다.

HBM은 수직으로 적층된 D램에 TSV로 미세한 구멍을 뚫어 연결하는 과정을 거친다. 이 공정은 일반적인 패키징보다 오염도에 민감하기 때문에, 기존 전공정에서 쓰이던 싱글형 세정장비를 도입해야 한다. 제우스는 '새턴', '아톰'이라는 모델명으로 해당 장비를 공급하고 있다.

정광일 담당은 "TSV 공정에서는 웨이퍼에 링프레임을 씌우기 때문에 400mm 웨이퍼용 장비가 쓰인다"며 "제우스는 400mm용 세정장비에서 국내 시장을 선도하고 있고, 일본·독일 등 주요 경쟁사와도 견줄만 하다"고 밝혔다.

제우스는 이에 그치지 않고 기존 제품의 경쟁력 강화, 신공정 분야 진출 등을 추진하고 있다. 전공정에서는 기존 8챔버 대비 더 많은 생산성을 갖춘 12챔버(이온-12) 장비를 개발했다. 현재 양산 적용 및 적용 분야 확대를 추진하고 있다.

차세대 전공정 시장을 겨냥한 고온·고식각율 식각장비 PEP도 현재 국내 주요 메모리사의 D램·낸드 공정에서 퀄(품질) 테스트를 거치고 있다. 식각 공정은 반도체 웨이퍼에 회로를 새긴 뒤 필요없는 물질을 제거하는 공정이다.

첨단 패키징 영역에서는 임시본딩·디본딩장비(TBDB)를 개발하고 있다. 임시본딩·디본딩이란 특정 공정을 처리하기 위해 칩을 임의로 고정시켰다 떼어내는 공정이다. HBM에서는 적층되는 각 D램의 표면을 얇게 갈아내는 데 쓰인다.

고객사 다변화를 위한 시장 개척은 북미·유럽을 중심으로 전개하고 있다. 앞서 제우스는 지난해 말 미국 반도체 첨단장비 공급업체 YES(예스)사와 전략적 파트너십을 체결한 바 있다.

정광일 담당은 "YES사와의 협업은 북미와 유럽 마케팅을 강화하기 위한 전략"이라며 "잠재 고객사들이 주력 제품인 전공정 세정장비와 패키징 장비에 대한 관심이 많은 상황"이라고 밝혔다.

제우스는 반도체 장비시장의 후발주자에 해당한다. 그럼에도 최근 첨단 반도체 공정에서 두각을 나타낼 수 있었던 배경으로, 회사는 풍부한 R&D 인프라와 소프트웨어 역량을 꼽는다.

정광일 담당은 "제우스는 순수 R&D 인력만 전체 인력의 약 20%에 해당하는 130여명으로, 세계적으로 봐도 손색이 없을 만한 장비 평가용 테스트베드를 운영하고 있다"며 "또한 반도체 장비에 AI를 접목해 공정 오류를 사전에 예방하는 등의 소프트웨어 개발도 진행 중"이라고 설명했다.

올 1분기 연결기준 매출액은 882.25억으로 전년동기대비 9.04% 감소. 영업이익은 75.59억으로 2315.02% 증가. 당기순이익은 52.15억으로 3200.63% 증가. 

작년 연결기준 매출액은 4028.71억으로 전년대비 20.85% 감소. 영업이익은 71.45억으로 84.57% 감소. 당기순이익은 100.25억으로 71.53% 감소. 

반도체 제조 장비, 디스플레이 열장비, 검사장비, 공정장비 및 산업용 Robot 등의 사업을 영위하는 업체. 반도체 제조 장비 사업(반도체 세정장비(Apollon, Venus)) 매출 비중이 높음. 산업용 Robot사업의 경우 자체 개발한 일체형 Joint Module 기술을 기반으로 6-Axis, Scara, Delta, Cartesian 등 중소형 Full Lineup Robot을 보유. 종속회사 쓰리젯을 통해 플러그밸브장비 사업도 영위. 최대주주는 이종우 외(39.95%). 

2022년 연결기준 매출액은 5090.16억으로 전년대비 27.01% 증가. 영업이익은 462.99억으로 85.84% 증가. 당기순이익은 352.11억으로 116.58% 증가. 

2008년 11월21일 505원에서 바닥을 찍은 후 올 1월22일 23700원에서 최고가를 찍고 밀렸으나 4월23일 15800원에서 저점을 직은 후등락을 보이는 가운데 저점과 고점을 높혀오는 중으로, 이제부턴 밀릴때마다 물량 모아둘 기회로 보여집니다.

손절점은 17100원으로 보시고 최대한 저점을 노리시면 되겠습니다. 17800원 전후면 무난해 보이며 분할매수도 고려해 볼수 있겠습니다.목표가는 1차로 19600원 부근에서 한번 차익실현을 고려해 보시고 이후 눌릴시 지지되는 저점에서 재공략 하시면 되겠습니다. 2차는 21600원 이상을 기대 합니다.

감사합니다.